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單晶石墨熱場的中心功能
單晶石墨熱場是單晶硅成長設備中的中心熱辦理系統,它通過電能轉化為熱能,實現硅料熔融及晶體成長溫度的精準操控,對單晶硅的質量、成品率和出產功率具有決定性影響。
高溫熔融:在1414℃以上穩定熔化硅料,并維持單晶成長所需的溫度梯度,確保晶體結構完整性。
熱場均勻性:使用石墨的高導熱性實現熱量均勻分布,下降晶體缺陷率,進步單晶硅的質量。
污染防控:高純度石墨資料可削減熔硅污染,滿足半導體級硅資料對純度的嚴格要求。

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