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石墨熱場的性能優勢
耐高溫性:石墨熔點達3650℃,可在真空或惰性氣體環境中長期安穩工作,習慣極端高溫條件。
化學安穩性:耐酸堿腐蝕,避免與熔融硅反應生成碳化硅雜質,滿足半導體級硅材料純度要求。
導熱與機械強度:抗壓強度≥80MPa,兼具導電性與結構安穩性,適配大尺寸單晶爐(如36英寸以上硅棒出產)。
本錢效益:石墨資源豐富,加工本錢低于鎢鉬等金屬材料,且使用壽命長,降低概括出產本錢。

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